1. Skilgreining á magngaskerfi:
Geymsla og þrýstingsstýring óvirkra lofttegunda Gastegundir: Dæmigerðar óvirkar lofttegundir (köfnunarefni, argon, þjappað loft osfrv.)
Stærð leiðslu: Frá 1/4 (eftirlitsleiðslu) til 12 tommu aðalleiðslu
Helstu vörur kerfisins eru: þindarventill/belgloki/kúluventill, háhreinleikatengi (videobandstæki, suðuform), ferrulstengi, þrýstistillingarventill, þrýstimælir o.fl.
Eins og er, inniheldur nýja kerfið einnig sérstakt gaskerfi fyrir magn sem notar fasta gaskúta eða tankbíla til geymslu og flutninga.
2. Hreinsunarkerfisskilgreining:
Fjarlæging óhreininda úr lausu lofttegundum fyrir háhreinar gasleiðslur
3. Gasskápar Skilgreining:
Veita þrýstingsstýringu og flæðisvöktun fyrir sérstaka gasgjafa (eitrað, eldfimt, hvarfgjarnt, ætandi lofttegundir) og hafa getu til að skipta um gashylki.
Staðsetning: Staðsett á Sub-fab hæð eða neðri hæð fyrir geymslu á sérstökum lofttegundum Heimild: NF3, SF6, WF6, o.fl.
Leiðslustærð: Innri gasleiðslu, venjulega 1/4 tommu fyrir vinnsluleiðslu, 1/4-3/8 tommu aðallega fyrir hreinsunarleiðslu fyrir köfnunarefni með miklum hreinleika.
Helstu vörur: Háhreinar þindlokar, eftirlitslokar, þrýstimælar, þrýstimælar, háhreinleikatengi (VCR, suðuform) Þessir gasskápar innihalda í grundvallaratriðum sjálfvirka skiptingargetu fyrir strokka til að tryggja stöðuga gasgjöf og örugga skiptingu á hylkjum.
4. Dreifingarskilgreining:
Að tengja gasgjafann við gassöfnunarspóluna
Línustærð: Í flísverksmiðjunni er stærð magngasdreifingarleiðslunnar yfirleitt á bilinu 1/2 tommur til 2 tommur.
Tengiform: Sérstakar gasleiðslur eru almennt tengdar með suðu, án vélrænna tenginga eða annarra hreyfanlegra hluta, aðallega vegna þess að suðutengingin hefur mikla þéttingaráreiðanleika.
Í flísaverksmiðju eru hundruðir kílómetra af slöngum tengdum gasi, sem eru í grundvallaratriðum um 20 fet að lengd og soðin saman. Sumar slöngubeygjur og pípulaga suðutengingar eru einnig mjög algengar.
5. Fjölnota ventlabox (Valve Manifold Box, VMB) Skilgreining:
Það er til að dreifa sérstökum lofttegundum frá gasgjafanum til mismunandi búnaðarenda.
Stærð innri leiðslu: 1/4 tommu vinnsluleiðslu og 1/4 - 3/8 tommu hreinsunarleiðslu. Kerfið gæti notað tölvustýringu til að krefjast virkra loka eða lægri kostnaðar með handvirkum lokum.
Kerfisvörur: þindlokar/belglokar með mikla hreinleika, afturlokar, samskeyti með miklum hreinleika (myndbandstæki, örsuðuform), þrýstistillingarventlar, þrýstimælar og þrýstimælar o.s.frv. - VMP (multi-function valve disc) er aðallega notaður, sem hefur opið gasdiskyfirborð og krefst ekki lokaðrar hönnunar og viðbótar köfnunarefnishreinsunar.
6. Auka ventilplata/kassi (Tool Hookup Panel) Skilgreining:
Tengdu gasið sem hálfleiðarabúnaðurinn þarf frá gasgjafanum við enda búnaðarins og tryggðu samsvarandi þrýstingsstjórnun. Þetta spjald er gasstýrikerfi sem er nær búnaðarendanum en VMB (fjölnota ventlabox).
Gasleiðslustærð: 1/4 - 3/8 tommur
Stærð fljótandi leiðslu: 1/2 - 1 tommur
Stærð losunarleiðslu: 1/2 - 1 tommur
Helstu vörur: þindloki/belgloki, einstefnuloki, þrýstistillingarventill, þrýstimælir, þrýstimælir, háhreinleiki samskeyti (myndbandstæki, örsuðu), ferrúla, kúluventill, slöngur osfrv.
Birtingartími: 22. nóvember 2024