1. Skilgreining á magngaskerfi:
Geymsla og þrýstistýring á óvirkum lofttegundum Tegundir lofttegunda: Dæmigerðar óvirkar lofttegundir (köfnunarefni, argon, þrýstiloft o.s.frv.)
Stærð leiðslu: Frá 1/4 (eftirlitsleiðsla) upp í 12 tommu aðalleiðslu
Helstu vörur kerfisins eru: þindarloki/belgloki/kúluloki, tengi með mikilli hreinleika (myndbandstæki, suðuform), ferrule-tengi, þrýstistillandi loki, þrýstimælir o.s.frv.
Eins og er inniheldur nýja kerfið einnig sérstakt gaskerfi í lausu, sem notar fasta gasflöskur eða tankbíla til geymslu og flutninga.
2. Skilgreining á hreinsunarkerfi:
Fjarlæging óhreininda úr lausu lofttegundum fyrir háhreinleika gasleiðslur
3. Skilgreining á gasskápum:
Sjá um þrýstistýringu og flæðiseftirlit fyrir sérstakar gasgjafa (eitraðar, eldfimar, hvarfgjarnar, ætandi lofttegundir) og geta skipt út gasflöskum.
Staðsetning: Staðsett á undirhæð verksmiðjunnar eða neðstu hæðinni til geymslu á sérstökum lofttegundum. Heimild: NF3, SF6, WF6, o.s.frv.
Stærð leiðslna: Innri gasleiðsla, almennt 1/4 tommur fyrir vinnsluleiðslur, 1/4-3/8 tommur aðallega fyrir leiðslur með hágæða köfnunarefnishreinsun.
Helstu vörur: Þindarlokar með mikilli hreinleika, bakstreymislokar, þrýstimælar, þrýstimælar, tengi með mikilli hreinleika (myndbandstæki, suðuform). Þessir gasskápar innihalda í grundvallaratriðum sjálfvirka rofa fyrir gaskúta til að tryggja samfellda gasframboð og örugga skipti á gaskútum.
4. Skilgreining á dreifingu:
Tenging gasgjafans við gassöfnunarspóluna
Línustærð: Í flísverksmiðjunni er stærð dreifingarleiðslunnar fyrir lausamagn gass almennt á bilinu 1/2 tommu til 2 tommur.
Tengiform: Sérstakar gasleiðslur eru almennt tengdar með suðu, án vélrænnar tengingar eða annarra hreyfanlegra hluta, aðallega vegna þess að suðutengingin hefur sterka þéttiáreiðanleika.
Í örgjörvaverksmiðju eru hundruð kílómetra af rörum tengd til að flytja gas, sem eru í grundvallaratriðum um 20 fet að lengd og soðin saman. Sumar beygjur og rörsuðutengingar eru einnig mjög algengar.
5. Fjölnota lokakassi (Ventilgreiningarkassi, VMB) Skilgreining:
Það er til að dreifa sérstökum lofttegundum frá gasuppsprettunni til mismunandi enda búnaðar.
Innri stærð leiðslunnar: 6 mm vinnsluleiðsla og 6 mm - 12 mm hreinsunarleiðsla. Kerfið getur notað tölvustýringu til að krefjast virkjaðra loka eða lækka kostnað við handvirka loka.
Kerfisvörur: Þindarlokar/belglokar með mikilli hreinleika, afturlokar, samskeyti með mikilli hreinleika (VCR, örsuðuform), þrýstistýringarlokar, þrýstimælar og þrýstimælar o.s.frv. Til dreifingar á sumum óvirkum lofttegundum er aðallega notaður ventlasvið - VMP (fjölnota ventladiskur), sem hefur opið yfirborð gasdisks og þarfnast ekki lokaðs rýmis og viðbótar köfnunarefnishreinsunar.
6. Skilgreining á aukalokaplötu/-kassi (tengingarpallur fyrir verkfæri):
Tengdu gasið sem hálfleiðarabúnaðurinn þarfnast frá gasgjafanum að enda búnaðarins og sjáðu til samsvarandi þrýstingsstýringar. Þessi spjald er gasstýringarkerfi sem er nær enda búnaðarins en VMB (fjölnota lokakassinn).
Stærð gasleiðslu: 1/4 - 3/8 tommur
Stærð vökvaleiðslu: 1/2 - 1 tommur
Stærð útblástursleiðslu: 1/2 - 1 tomma
Helstu vörur: þindarloki/belgloki, einstefnuloki, þrýstistýringarloki, þrýstimælir, þrýstimælir, hágæða samskeyti (myndbandstæki, örsuðu), ferrule samskeyti, kúluloki, slöngur o.s.frv.
Birtingartími: 22. nóvember 2024