síðuborði

Fréttir

Mikilvægi háhreinleika gasleiðslu fyrir hálfleiðara

As hálfleiðariog ör-rafeindatækni þróast í átt að meiri afköstum og meiri samþættingu, þá eru gerðar meiri kröfur um hreinleika rafrænna sérstakra lofttegunda. Tækni fyrir pípulagnir með mikilli hreinleika er mikilvægur hluti af kerfinu fyrir afhendingu á háhreinleika lofttegundum. Þetta er lykiltæknin til að afhenda háhreinleika lofttegunda sem uppfylla kröfur til notkunarstaða gassins en viðhalda samt sem áður gæðum.

Háhreinleiki pípulagna felur í sér rétta hönnun kerfisins, val á píputengum og hjálparefnum, smíði, uppsetningu og prófanir.

01Almenn hugmynd um gasflutningslagnir

Öllum hreinum og hreinum lofttegundum þarf að flytja á endapunkt gassins í gegnum leiðslur. Til að uppfylla kröfur um gæðaferla fyrir gas, þegar útflutningsvísitala gassins er áreiðanleg, er nauðsynlegra að huga að efnisvali og smíðagæðum pípukerfisins. Auk nákvæmni gasframleiðslu- eða hreinsunarbúnaðarins er hún að miklu leyti undir áhrifum margra þátta í pípukerfinu. Þess vegna þarf val á pípum að vera í samræmi við viðeigandi meginreglur hreinsunariðnaðarins og merkja efni pípanna á teikningum.

02 Mikilvægi háhreinleikaleiðslu í gasflutningum

Mikilvægi háhreinleikaleiðslna í flutningi háhreinleikagass. Við bræðslu ryðfríu stáls getur hvert tonn tekið í sig um 200 grömm af gasi. Eftir að ryðfría stálið hefur verið unnið festast ekki aðeins ýmis mengunarefni á yfirborði þess, heldur frásogast einnig ákveðið magn af gasi í málmgrindina. Þegar loftstreymi fer í gegnum leiðsluna mun sá hluti gassins sem málmurinn frásogar fara aftur inn í loftstreymið og menga hreina gasið.

Þegar loftstreymið í pípunni er óstöðugt myndar pípan þrýstingsadsorps á gasið sem fer í gegn. Þegar loftstreymið hættir að fara myndar gasið sem pípan sogar í sig þrýstingslækkun og greinda gasið fer einnig inn í hreina gasið í pípunni sem óhreinindi.

Á sama tíma veldur aðsogs- og greiningarferlið því að málmurinn á innra yfirborði rörsins framleiðir ákveðið magn af dufti. Þessi málmrykagnir menga einnig hreina gasið í rörinu. Þessi eiginleiki rörsins er mjög mikilvægur. Til að tryggja hreinleika flutts gass er ekki aðeins krafist að innra yfirborð rörsins sé afar slétt, heldur einnig að það hafi mikla slitþol.

Þegar gasið hefur sterka tæringareiginleika verður að nota tæringarþolnar ryðfríar stálpípur. Annars myndast tæringarblettir á innra yfirborði rörsins vegna tæringar. Í alvarlegum tilfellum geta stórir málmhlutar flagnað af eða jafnvel gatað sig og þannig mengað hreina gasið sem flutt er.

03 Efni pípa

Efnisval pípunnar þarf að vera valið í samræmi við notkunarþarfir. Gæði pípunnar eru almennt mæld út frá grófleika innra yfirborðs pípunnar. Því minni sem grófleikinn er, því minni líkur eru á að agnir beri hana. Almennt skipt í þrjár gerðir:

Einn erEP gráðu 316L pípa, sem hefur verið rafgreiningarpússað (rafpússað). Það er tæringarþolið og hefur lága yfirborðsgrófleika. Rmax (hámarkshæð frá toppi til dals) er um 0,3 μm eða minna. Það hefur mesta flatleika og myndar ekki auðveldlega örbylgjustrauma. Fjarlægið mengaðar agnir. Hvarfgasið sem notað er í ferlinu ætti að vera leitt á þessu stigi.

Einn erBA einkunn 316LPípa, sem hefur verið meðhöndluð með Bright Anneal og er oft notuð fyrir lofttegundir sem eru í snertingu við flísina en taka ekki þátt í ferlinu, eins og GN2 og CDA. Önnur er AP-pípa (Annealing & Picking), sem er ekki sérstaklega meðhöndluð og er almennt notuð fyrir tvöföld sett af ytri pípum sem eru ekki notaðar sem gasleiðslur.

„1705977660566“

04 Lagnagerð

Vinnsla á röropinu er einn af lykilatriðunum í þessari smíðatækni. Skurður og forsmíði leiðslunnar fer fram í hreinu umhverfi og jafnframt er tryggt að engin skaðleg merki eða skemmdir séu á yfirborði leiðslunnar fyrir skurð. Undirbúningur fyrir köfnunarefnisskolun í leiðslunni ætti að vera gerður áður en leiðslan er opnuð. Í meginatriðum er suðu notuð til að tengja saman hágæða og hreina gasflutnings- og dreifingarleiðslur með miklu flæði, en bein suðu er ekki leyfð. Nota skal hlífðarsamskeyti og pípuefnið sem notað er þarf ekki að breytast í uppbyggingu við suðu. Ef efni með of hátt kolefnisinnihald er soðið mun loftgegndræpi suðuhlutans valda því að gasið innan og utan pípunnar kemst í snertingu við annað, sem eyðileggur hreinleika, þurrleika og hreinleika flutningsgassins, sem mun leiða til alvarlegra afleiðinga og hafa áhrif á framleiðslugæði.

Í stuttu máli, fyrir leiðslur fyrir hágæða gas og sérstakar gasflutningslagnir, verður að nota sérstaklega meðhöndlaðar hágæða ryðfríu stálpípur, sem gerir það að verkum að hágæða rörlagnakerfið (þar með taldar leiðslur, píputengi, lokar, VMB, VMP) gegnir mikilvægu hlutverki í dreifingu hágæða gass.


Birtingartími: 26. nóvember 2024